Ionstrålepoleringsmaskin för safir SiC Si
Detaljerat diagram
Produktöversikt över jonstrålepoleringsmaskin
Jonstrålefigurerings- och poleringsmaskinen är baserad på principen om jonsputtring. Inuti en högvakuumkammare genererar en jonkälla plasma, som accelereras till en högenergisk jonstråle. Denna stråle bombarderar ytan på den optiska komponenten och avlägsnar material på atomär skala för att uppnå ultraprecis ytkorrigering och ytbehandling.
Som en beröringsfri process eliminerar jonstrålepolering mekanisk stress och undviker skador under ytan, vilket gör den idealisk för tillverkning av högprecisionsoptik som används inom astronomi, flyg- och rymdteknik, halvledare och avancerade forskningsapplikationer.
Arbetsprincip för jonstrålepoleringsmaskin
Jongenerering
Inert gas (t.ex. argon) förs in i vakuumkammaren och joniseras genom en elektrisk urladdning för att bilda plasma.
Acceleration och strålbildning
Jonerna accelereras till flera hundra eller tusen elektronvolt (eV) och formas till en stabil, fokuserad strålfläck.
Materialborttagning
Jonstrålen sputterar fysiskt atomer från ytan utan att initiera kemiska reaktioner.
Feldetektering och vägplanering
Ytfiguravvikelser mäts med interferometri. Borttagningsfunktioner tillämpas för att bestämma uppehållstider och generera optimerade verktygsbanor.
Sluten korrigering
Iterativa cykler av bearbetning och mätning fortsätter tills RMS/PV-precisionsmålen uppnås.
Viktiga funktioner hos jonstrålepoleringsmaskinen
Universell ytkompatibilitet– Bearbetar plana, sfäriska, asfäriska och friformade ytor
Ultrastabil borttagningshastighet– Möjliggör korrigering av subnanometersiffror
Skadefri bearbetning– Inga defekter eller strukturella förändringar i underlaget
Konsekvent prestanda– Fungerar lika bra på material med varierande hårdhet
Korrigering av låg/medelfrekvens– Eliminerar fel utan att generera artefakter i mellan-/högfrekventa områden
Lågt underhållskrav– Lång kontinuerlig drift med minimal driftstopp
Huvudsakliga tekniska specifikationer för jonstrålepoleringsmaskin
| Punkt | Specifikation |
| Bearbetningsmetod | Jonförstoftning i högvakuummiljö |
| Bearbetningstyp | Beröringsfri ytbehandling och polering |
| Max arbetsstyckestorlek | Φ4000 mm |
| Rörelseaxlar | 3-axlig / 5-axlig |
| Borttagningsstabilitet | ≥95% |
| Ytnoggrannhet | PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (typisk RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
| Frekvenskorrigeringsförmåga | Tar bort fel vid låg-medelhög frekvens utan att introducera fel vid medel-/hög frekvens |
| Kontinuerlig drift | 3–5 veckor utan dammsugning |
| Underhållskostnad | Låg |
Bearbetningskapacitet hos jonstrålepoleringsmaskin
Stödda yttyper
Enkel: Platt, sfärisk, prisma
Komplex: Symmetrisk/asymmetrisk asfär, asfär utanför axeln, cylindrisk
Special: Ultratunn optik, lamelloptik, halvsfärisk optik, konform optik, fasplattor, friformsytor
Stödda material
Optiskt glas: Kvarts, mikrokristallint, K9, etc.
Infraröda material: Kisel, germanium, etc.
Metaller: Aluminium, rostfritt stål, titanlegering etc.
Kristaller: YAG, enkristallkiselkarbid, etc.
Hårda/spröda material: Kiselkarbid, etc.
Ytkvalitet / Precision
PV < 10 nm
RMS ≤ 0,5 nm
Fallstudier av bearbetning av jonstrålepoleringsmaskin
Fall 1 – Standard platt spegel
Arbetsstycke: D630 mm kvartsplatt
Resultat: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm
Fall 2 – Röntgenreflekterande spegel
Arbetsstycke: 150 × 30 mm silikonplatta
Resultat: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Lutning 0,13 µrad
Fall 3 – Spegel utanför axeln
Arbetsstycke: D326 mm spegel med slipad axel
Resultat: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm
Vanliga frågor om kvartsglas
Vanliga frågor – Ion Beam Polermaskin
F1: Vad är jonstrålepolering?
A1:Jonstrålepolering är en kontaktfri process som använder en fokuserad jonstråle (såsom argonjoner) för att avlägsna material från arbetsstyckets yta. Jonerna accelereras och riktas mot ytan, vilket orsakar materialborttagning på atomnivå, vilket resulterar i ultrasläta ytor. Denna process eliminerar mekanisk stress och skador under ytan, vilket gör den idealisk för precisionsoptiska komponenter.
F2: Vilka typer av ytor kan jonstrålepoleringsmaskinen bearbeta?
A2:DeIon Beam Polermaskinkan bearbeta en mängd olika ytor, inklusive enkla optiska komponenter somplattor, sfärer och prismor, såväl som komplexa geometrier somasfärer, asfärer utanför axisochfriformsytorDet är särskilt effektivt på material som optiskt glas, infraröd optik, metaller och hårda/spröda material.
F3: Vilka material kan jonstrålepoleringsmaskinen arbeta med?
A3:DeIon Beam Polermaskinkan polera en mängd olika material, inklusive:
-
Optiskt glasKvarts, mikrokristallin, K9, etc.
-
Infraröda materialKisel, germanium, etc.
-
MetallerAluminium, rostfritt stål, titanlegering etc.
-
KristallmaterialYAG, enkristallkiselkarbid, etc.
-
Andra hårda/spröda materialKiselkarbid, etc.
Om oss
XKH specialiserar sig på högteknologisk utveckling, produktion och försäljning av specialoptiska glas och nya kristallmaterial. Våra produkter används inom optisk elektronik, konsumentelektronik och militären. Vi erbjuder optiska safirkomponenter, mobiltelefonlinsskydd, keramik, LT, kiselkarbid SIC, kvarts och halvledarkristallskivor. Med skicklig expertis och den senaste utrustningen utmärker vi oss inom icke-standardiserad produktbearbetning, med målet att vara ett ledande högteknologiskt företag inom optoelektroniska material.
