8 tums silikonskiva P/N-typ (100) 1-100Ω dummy återvinningssubstrat
Introducera wafer box
8-tums kiselskivan är ett vanligt använt kiselsubstratmaterial och används ofta i tillverkningsprocessen för integrerade kretsar. Sådana kiselskivor används vanligtvis för att tillverka olika typer av integrerade kretsar, inklusive mikroprocessorer, minneschips, sensorer och andra elektroniska enheter. 8-tums kiselskivor används vanligtvis för att tillverka chips av relativt stora storlekar, med fördelar som en större yta och möjligheten att göra fler chips på en enda kiselwafer, vilket leder till ökad produktionseffektivitet. 8-tums kiselskivan har även goda mekaniska och kemiska egenskaper, vilket är lämpligt för storskalig produktion av integrerade kretsar.
Produktegenskaper
8" P/N-typ, polerad silikonwafer (25 st)
Orientering: 200
Resistivitet: 0,1 - 40 ohm•cm (det kan variera från batch till batch)
Tjocklek: 725+/-20um
Prime/Monitor/Testbetyg
MATERIALEGENSKAPER
Parameter | Karakteristisk |
Typ/Dopant | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsenik |
Inriktningar | <100>, <111> skär av orienteringar enligt kundens specifikationer |
Syreinnehåll | 1019ppmA Anpassade toleranser enligt kundens specifikation |
Kolinnehåll | < 0,6 ppmA |
MEKANISKA EGENSKAPER
Parameter | Främsta | Övervaka/test A | Testa |
Diameter | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Tjocklek | 725±20µm (standard) | 725±25 µm (standard) 450±25 µm 625±25 µm 1000±25 µm 1300±25 µm 1500±25 µm | 725±50µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Rosett | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Sjal | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kantavrundning | HALVSTD | ||
Märkning | Endast primära SEMI-Flat, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Parameter | Främsta | Övervaka/test A | Testa |
Kriterier på framsidan | |||
Ytans skick | Kemisk mekanisk polerad | Kemisk mekanisk polerad | Kemisk mekanisk polerad |
Ytjämnhet | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Förorening Partiklar @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Dis, gropar Apelsinskal | Ingen | Ingen | Ingen |
Såg, Marks Striations | Ingen | Ingen | Ingen |
Kriterier på baksidan | |||
Sprickor, kråkfötter, sågmärken, fläckar | Ingen | Ingen | Ingen |
Ytans skick | Kaustik etsat |