8-tums kiselskiva P/N-typ (100) 1-100Ω dummy-återvinningssubstrat
Introduktion av waferlåda
8-tums kiselskivor är ett vanligt förekommande kiselsubstratmaterial och används flitigt i tillverkningsprocessen för integrerade kretsar. Sådana kiselskivor används ofta för att tillverka olika typer av integrerade kretsar, inklusive mikroprocessorer, minneschips, sensorer och andra elektroniska enheter. 8-tums kiselskivor används ofta för att tillverka chip av relativt stora storlekar, med fördelar som en större yta och möjligheten att tillverka fler chip på en enda kiselskiva, vilket leder till ökad produktionseffektivitet. 8-tums kiselskivan har också goda mekaniska och kemiska egenskaper, vilket är lämpligt för storskalig produktion av integrerade kretsar.
Produktegenskaper
8" P/N-typ, polerad kiselskiva (25 st)
Orientering: 200
Resistivitet: 0,1–40 ohm•cm (Kan variera från sats till sats)
Tjocklek: 725 +/- 20 um
Prime/Monitor/Test Betyg
MATERIALEGENSKAPER
Parameter | Karakteristisk |
Typ/Dopmedel | P, bor N, fosfor N, antimon N, arsenik |
Orienteringar | <100>, <111> avskärningsorienteringar enligt kundens specifikationer |
Syreinnehåll | 1019ppmA Anpassade toleranser enligt kundens specifikation |
Kolhalt | < 0,6 ppmA |
MEKANISKA EGENSKAPER
Parameter | Främsta | Övervaka/test A | Testa |
Diameter | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Tjocklek | 725±20µm (standard) | 725±25µm (standard) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Rosett | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Sjal | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kantavrundning | SEMI-STD | ||
Märkning | Endast primär halvlägenhet, halvlägenheter i standardstorlek Jeida Flat, Notch |
Parameter | Främsta | Övervaka/test A | Testa |
Kriterier för framsida | |||
Ytbeskaffenhet | Kemisk Mekanisk Polerad | Kemisk Mekanisk Polerad | Kemisk Mekanisk Polerad |
Ytjämnhet | < 2°C | < 2°C | < 2°C |
Förorening Partiklar vid >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Dis, gropar Apelsinskal | Ingen | Ingen | Ingen |
Såg, märken Striationer | Ingen | Ingen | Ingen |
Kriterier för baksidan | |||
Sprickor, kråkfötter, sågmärken, fläckar | Ingen | Ingen | Ingen |
Ytbeskaffenhet | Etsad kaustisk |
Detaljerat diagram


