6-tums N-typ eller P-typ kiselskiva CZ Si-skiva
Introduktion av waferlåda
Specifikationerna för kiselskivor:
6-tums kiselskivortillväxt: CZ, MCZ, FZ.
6 Kiselskivorkvalitet: Prime, Test, Dummy, etc.
6-tums kiselskiva, diameter: 6 tum/150 mm.
6-tums kiselskiva, tjocklek: 200 ~ 3000 um.
6-tums kiselskiva Finish: Som skuren, överlappad, etsad, SSP, DSP, etc.
6-tums kiselskivor Orientering: (100) (111) (110) (531) (553) etc.
6-tums kiselskiva Off cut: upp till 4 grader.
6-tums kiselskiva Typ/dopmedel: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, intrinsic.
6-tums kiselskivor, resistivitet: CZ/MCZ: Från 0,001 till 1000 ohm-cm. FZ: upp till 20k ohm-cm.
6-tums kiselskivor Tunna filmer: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. etc., Beläggningstjocklekar upp till 20 000 A/5 %.
(b) LPCVD/PECVD: Oxid, nitrid, siC, etc., Beläggningstjocklekar upp till 200 000 A/3 %.
(c) Epitaxiala kiselskivor och epitaxiella tjänster (SOS, GaN, GOI etc.).
6-tums kiselskivor Processer: a.DSP, ultratunn, ultraplatt, etc.
b. Downsizing, bakslipning, dicing etc. c. MEMS.
Sedan 2010 har Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd varit engagerade i att förse kunder med heltäckande 4-tums wafer-kiselskivslösningar, från felsökningswafers, dummy-wafers och test-wafers på nivånivå till produkt-wafers, Prime Wafer, såväl som specialwafers, oxidwafers, nitridwafers Si3N4, aluminiumpläterade wafers, kopparpläterade kiselwafers, SOI-wafers, MEMS-glas, kundanpassade ultratjocka och ultraplatta wafers etc., med storlekar från 50 mm till 300 mm. Vi kan även erbjuda halvledarwafers med enkelsidig/dubbelsidig polering, gallring, tärning, MEMS och andra bearbetnings- och anpassningstjänster.
Detaljerat diagram


