156 mm 159 mm 6 tum Sapphire Wafer för bärare C-Plane DSP TTV
Specifikation
| Artikel | 6-tums C-plane(0001) Sapphire Wafers | |
| Kristallmaterial | 99 999 %, hög renhet, monokristallin Al2O3 | |
| Kvalitet | Prime, Epi-Ready | |
| Ytorientering | C-plan (0001) | |
| C-planets avvikelsevinkel mot M-axeln 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diameter | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Tjocklek | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primär platt orientering | C-plan (00-01) +/- 0,2° | |
| Enkelsidig polerad | Framsida | Epi-polerad, Ra < 0,2 nm (av AFM) |
| (SSP) | Baksida | Finslipad, Ra = 0,8 μm till 1,2 μm |
| Dubbelsidig polerad | Framsida | Epi-polerad, Ra < 0,2 nm (av AFM) |
| (DSP) | Baksida | Epi-polerad, Ra < 0,2 nm (av AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| ROSETT | < 20 μm | |
| VARP | < 20 μm | |
| Rengöring / Förpackning | Klass 100 renrumsrengöring och vakuumförpackning, | |
| 25 stycken i en kassettförpackning eller enstycksförpackning. | ||
Kylopoulos-metoden (KY-metoden) används för närvarande av många företag i Kina för att producera safirkristaller för användning inom elektronik- och optikindustrin.
I denna process smälts högren aluminiumoxid i en degel vid temperaturer över 2100 grader Celsius.Vanligtvis är degeln gjord av volfram eller molybden.En exakt orienterad ympkristall nedsänks i den smälta aluminiumoxiden.Frökristallen dras långsamt uppåt och kan roteras samtidigt.Genom att exakt styra temperaturgradienten, draghastigheten och kylningshastigheten kan ett stort enkristalliskt, nästan cylindriskt göt framställas av smältan.
Efter att de enkristalliserade safirgöten har odlats borras de till cylindriska stavar, som sedan skärs till önskad fönstertjocklek och poleras slutligen till önskad ytfinish.
Detaljerat diagram
