150 mm 200 mm 6 tum 8 tum GaN på Silicon Epi-layer wafer Galliumnitrid epitaxial wafer
Tillverkningsmetod
Tillverkningsprocessen involverar odling av GaN-skikt på ett safirsubstrat med hjälp av avancerade tekniker som metall-organisk kemisk ångavsättning (MOCVD) eller molekylär strålepitaxi (MBE). Deponeringsprocessen utförs under kontrollerade förhållanden för att säkerställa hög kristallkvalitet och enhetlig film.
6-tums GaN-On-Sapphire-applikationer: 6-tums safirsubstratchips används i stor utsträckning inom mikrovågskommunikation, radarsystem, trådlös teknik och optoelektronik.
Några vanliga applikationer inkluderar
1. Rf effektförstärkare
2. LED-belysningsindustrin
3. Utrustning för trådlös nätverkskommunikation
4. Elektroniska enheter i högtemperaturmiljö
5. Optoelektroniska enheter
Produktspecifikationer
- Storlek: Substratdiametern är 6 tum (cirka 150 mm).
- Ytkvalitet: Ytan har finpolerats för att ge utmärkt spegelkvalitet.
- Tjocklek: Tjockleken på GaN-skiktet kan anpassas enligt specifika krav.
- Förpackning: Underlaget är noggrant packat med antistatiska material för att förhindra skador under transport.
- Positioneringskanter: Substratet har specifika positioneringskanter som underlättar inriktning och drift under förberedelse av enheten.
- Andra parametrar: Specifika parametrar som tunnhet, resistivitet och dopningskoncentration kan justeras efter kundens önskemål.
Med sina överlägsna materialegenskaper och olika applikationer är 6-tums safirsubstratskivor ett pålitligt val för utveckling av högpresterande halvledarenheter i olika industrier.
| Substrat | 6” 1 mm <111> p-typ Si | 6” 1 mm <111> p-typ Si |
| Epi ThickAvg | ~5um | ~7um |
| Epi ThickUnif | <2 % | <2 % |
| Rosett | +/-45um | +/-45um |
| Krackning | <5 mm | <5 mm |
| Vertical BV | >1000V | >1400V |
| HEMT Al% | 25-35 % | 25-35 % |
| HEMT TjockGen | 20-30 nm | 20-30 nm |
| Insitu SiN Cap | 5-60 nm | 5-60 nm |
| 2° konc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| Rörlighet | ~2000 cm2/Vs (<2%) | ~2000 cm2/Vs (<2%) |
| Rsh | <330 ohm/sq (<2 %) | <330 ohm/sq (<2 %) |
Detaljerat diagram
