150 mm 200 mm 6 tum 8 tum GaN på kisel epi-lagerskiva Galliumnitrid epitaxialskiva
Tillverkningsmetod
Tillverkningsprocessen innebär att GaN-lager odlas på ett safirsubstrat med hjälp av avancerade tekniker som metallorganisk kemisk ångdeponering (MOCVD) eller molekylärstråleepitaxi (MBE). Deponeringsprocessen utförs under kontrollerade förhållanden för att säkerställa hög kristallkvalitet och enhetlig film.
6-tums GaN-på-safir-applikationer: 6-tums safirsubstratchips används ofta inom mikrovågskommunikation, radarsystem, trådlös teknik och optoelektronik.
Några vanliga tillämpningar inkluderar
1. RF-effektförstärkare
2. LED-belysningsindustrin
3. Trådlös nätverkskommunikationsutrustning
4. Elektroniska apparater i högtemperaturmiljöer
5. Optoelektroniska enheter
Produktspecifikationer
- Storlek: Substratdiametern är 6 tum (cirka 150 mm).
- Ytkvalitet: Ytan har finpolerats för att ge utmärkt spegelkvalitet.
- Tjocklek: GaN-lagrets tjocklek kan anpassas efter specifika krav.
- Förpackning: Underlaget är noggrant förpackat med antistatiskt material för att förhindra skador under transport.
- Positioneringskanter: Substratet har specifika positioneringskanter som underlättar uppriktning och användning under förberedelse av enheten.
- Andra parametrar: Specifika parametrar som tunnhet, resistivitet och dopkoncentration kan justeras efter kundens krav.
Med sina överlägsna materialegenskaper och mångsidiga tillämpningar är 6-tums safirsubstratwafers ett pålitligt val för utveckling av högpresterande halvledarkomponenter inom olika industrier.
| Substrat | 6” 1 mm <111> p-typ Si | 6” 1 mm <111> p-typ Si |
| Epi Tjock Genomsnitt | ~5um | ~7um |
| Epi ThickUnif | <2% | <2% |
| Rosett | +/-45um | +/-45um |
| Krackning | <5 mm | <5 mm |
| Vertikal BV | >1000V | >1400V |
| HEMT Al% | 25–35 % | 25–35 % |
| HEMT Tjockt Genomsnitt | 20–30 nm | 20–30 nm |
| Insitu SiN-lock | 5–60 nm | 5–60 nm |
| 2DEG-konc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| Rörlighet | ~2000 cm2/Vs (<2%) | ~2000 cm2/Vs (<2%) |
| Rsh | <330 ohm/kvadrat (<2 %) | <330 ohm/kvadrat (<2 %) |
Detaljerat diagram
