Ultraprecisions SiC luftlagersteg

Kort beskrivning:

Med den kontinuerliga utvecklingen inom halvledarindustrin kräver bearbetnings- och inspektionsutrustning allt högre prestanda. Med utgångspunkt i omfattande expertis inom rörelsekontroll och positionering på nanometernivå har vi utvecklat ett plant H-typ dubbelaxligt ultraprecisionsluftlagersteg.

Skicka e-post till oss

Drag

Detaljerat diagram

Översikt

Steget är konstruerat med en finita-elementoptimerad kiselkarbid (SiC) keramisk struktur och kompenserad luftlagerteknik, vilket ger enastående noggrannhet, styvhet och dynamisk respons. Det är idealiskt lämpat för:

Halvledarbearbetning och inspektion
Mikro-/nanotillverkning och metrologi
Nanometerskalig flugskärning och polering
Höghastighets precisionsskanning

Viktiga funktioner

SiC luftlagerstyrningför ultrahög styvhet och precision
Hög dynamikhastighet upp till 1 m/s, acceleration upp till 4 g, snabb sättning
Dubbeldriven gantry Y-axelsäkerställer hög lastkapacitet och stabilitet
Kodaralternativoptiskt gitter eller laserinterferometer
Positioneringsnoggrannhet±0,15 μm;repeterbarhet±75 nm
Optimerad kabeldragningför ren design och långsiktig tillförlitlighet
Anpassningsbara konfigurationerför applikationsspecifika behov

Ultraprecisionsdesign och direktdriven, kontaktlös arkitektur

SiC Keramisk Ram~5 gånger styvheten hos aluminiumlegering och ~5 gånger lägre termisk expansion, vilket säkerställer höghastighetsstabilitet och termisk robusthet.
Kompenserad luftlagerEgenutvecklad design förbättrar styvhet, lastkapacitet och rörelsestabilitet.
Dynamisk prestandaStöder en hastighet på 1 m/s och en acceleration på 4 g, perfekt för processer med hög genomströmning.
Sömlös integrationKompatibel med vibrationsisoleringssystem, rotationssteg, lutningsmoduler och waferhanteringsplattformar.
KabelhanteringKontrollerad böjningsradie minimerar spänningar för förlängd livslängd.

Kärnlös linjärmotorJämn rörelse utan kuggkraft.
FlermotordriftPlacering av motorn i lastplanet förbättrar rakhet, planhet och vinkelprecision.
Termisk isoleringMotorerna är isolerade från scenstrukturen; luft- eller vattenkylning finns som tillval för höga driftscykler.

Specifikationer

Modell	400-400	500-500	600-600
Yxor	X (skanning) / Y (steg)	X (skanning) / Y (steg)	X (skanning) / Y (steg)
Färdväg (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Noggrannhet (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Repeterbarhet (nm)	±75	±100	±100
Upplösning (nm)	0,3	0,3	0,3
Maxhastighet (m/s)	1	1	1
Acceleration (g)	4	4	4
Rakhet (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilitet (nm)	±5	±5	±5
Maxbelastning (kg)	20	20	20
Lutning/Rullning/Girning (bågsekund)	±1	±1	±1

Testförhållanden:

Lufttillförsel: ren, torr; daggpunkt ≤ 0°F; partikelfiltrering ≤ 0,25 μm; eller 99,99 % kväve.
Noggrannhet mätt 25 mm ovanför bordets mittpunkt vid 20±1 °C, 40–60 % RF.

Applikationer

Halvledarlitografi, inspektion och waferhantering
Mikro-/nanotillverkning och precisionsmetrologi
Tillverkning av avancerad optik och interferometri
Flyg- och rymdforskning och avancerad vetenskaplig forskning

Vanliga frågor – Luftlagersteg i kiselkarbid

1. Vad är ett luftbärande steg?

Ett luftburet steg använder en tunn film av tryckluft mellan steget och styrskenan för att gefriktionsfri, slitagefri och ultramjuk rörelseTill skillnad från konventionella mekaniska lager eliminerar den stick-slip, ger noggrannhet på nanometernivå och stöder långsiktig tillförlitlighet.

2. Varför använda kiselkarbid (SiC) till scenstrukturen?

Hög styvhet~5 gånger så mycket som aluminiumlegering, vilket minimerar deformation under dynamisk rörelse.
Låg termisk expansion~5× lägre än aluminium, vilket bibehåller noggrannheten även vid temperaturvariationer.
LättviktLägre densitet jämfört med stål, vilket möjliggör drift med hög hastighet och hög acceleration.
Utmärkt stabilitetÖverlägsen dämpning och styvhet för ultraprecisionspositionering.

3. Behöver scenen smörjning eller underhåll?

Ingen traditionell smörjning behövs eftersom det finnsingen mekanisk kontaktRekommenderat underhåll inkluderar:

Leveransren, torr tryckluft eller kväve
Periodisk inspektion av filter och torktumlare
Övervakning av kablar och kylsystem

4. Vilka är kraven på lufttillförsel?

Daggpunkt: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Partikelfiltrering: ≤ 0,25 μm
Ren, torr luft eller 99,99 % rent kväve
Stabilt tryck med minimal fluktuation

Om oss

XKH specialiserar sig på högteknologisk utveckling, produktion och försäljning av specialoptiska glas och nya kristallmaterial. Våra produkter används inom optisk elektronik, konsumentelektronik och militären. Vi erbjuder optiska safirkomponenter, mobiltelefonlinsskydd, keramik, LT, kiselkarbid SIC, kvarts och halvledarkristallskivor. Med skicklig expertis och den senaste utrustningen utmärker vi oss inom icke-standardiserad produktbearbetning, med målet att vara ett ledande högteknologiskt företag inom optoelektroniska material.