SiC Keramisk Gaffelarm / Ändeffektor – Avancerad precisionshantering för halvledartillverkning

Kort beskrivning:

SiC-keramiska gaffelarmen, ofta kallad keramisk ändeffektor, är en högpresterande precisionshanteringskomponent speciellt utvecklad för wafertransport, justering och positionering inom högteknologiska industrier, särskilt inom halvledar- och solcellsproduktion. Denna komponent är tillverkad av högren kiselkarbidkeramik och kombinerar exceptionell mekanisk hållfasthet, ultralåg termisk expansion och överlägsen motståndskraft mot termisk chock och korrosion.

Skicka e-post till oss

Drag

Detaljerat diagram

Produktöversikt

Till skillnad från traditionella ändeffektorer tillverkade av aluminium, rostfritt stål eller till och med kvarts, erbjuder SiC-keramiska ändeffektorer oöverträffad prestanda i vakuumkammare, renrum och tuffa bearbetningsmiljöer, vilket gör dem till en viktig del av nästa generations waferhanteringsrobotar. Med ökande efterfrågan på kontamineringsfri produktion och snävare toleranser inom chiptillverkning blir användningen av keramiska ändeffektorer snabbt branschstandard.

Tillverkningsprincip

Tillverkningen avSiC keramiska ändeffektorerinvolverar en serie högprecisions- och högrenhetsprocesser som säkerställer både prestanda och hållbarhet. Två huvudprocesser används vanligtvis:

Reaktionsbunden kiselkarbid (RB-SiC)

I denna process infiltreras en preform tillverkad av kiselkarbidpulver och bindemedel med smält kisel vid höga temperaturer (~1500 °C), vilket reagerar med kvarvarande kol för att bilda en tät, styv SiC-Si-komposit. Denna metod erbjuder utmärkt dimensionskontroll och är kostnadseffektiv för storskalig produktion.

Trycklös sintrad kiselkarbid (SSiC)

SSiC tillverkas genom sintring av ultrafint, högrent SiC-pulver vid extremt höga temperaturer (>2000 °C) utan att använda tillsatser eller bindemedel. Detta resulterar i en produkt med nästan 100 % densitet och de högsta mekaniska och termiska egenskaperna som finns tillgängliga bland SiC-material. Det är idealiskt för ultrakritiska waferhanteringsapplikationer.

Efterbehandling

Precisions-CNC-bearbetningUppnår hög planhet och parallellitet.
YtbehandlingDiamantpolering minskar ytjämnheten till <0,02 µm.
InspektionOptisk interferometri, CMM och oförstörande provning används för att verifiera varje del.

Dessa steg garanterar attSiC-ändeffektorlevererar konsekvent noggrannhet i waferplaceringen, utmärkt planaritet och minimal partikelgenerering.

Viktiga funktioner och fördelar

Särdrag	Beskrivning
Ultrahög hårdhet	Vickershårdhet > 2500 HV, motståndskraftig mot slitage och flisning.
Låg termisk expansion	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, vilket möjliggör dimensionsstabilitet vid termisk cykling.
Kemisk inertitet	Resistent mot HF, HCl, plasmagaser och andra korrosiva ämnen.
Utmärkt motståndskraft mot termisk chock	Lämplig för snabb uppvärmning/kylning i vakuum- och ugnssystem.
Hög styvhet och styrka	Stöder långa utskjutande gaffelarmar utan nedböjning.
Låg avgasning	Idealisk för miljöer med ultrahögt vakuum (UHV).
ISO klass 1 renrumsklar	Partikelfri drift säkerställer waferns integritet.

Applikationer

SiC-keramiska gaffelarmar/ändeffektorer används ofta inom industrier som kräver extrem precision, renhet och kemisk resistens. Viktiga applikationsscenarier inkluderar:

Halvledartillverkning

Waferladdning/-lossning i deponeringssystem (CVD, PVD), etsningssystem (RIE, DRIE) och rengöringssystem.
Robotisk wafertransport mellan FOUP:er, kassetter och processverktyg.
Högtemperaturhantering under termisk bearbetning eller glödgning.

Produktion av fotovoltaiska celler

Ömtålig transport av ömtåliga kiselskivor eller solsubstrat i automatiserade linjer.

Plattskärmsindustrin (FPD)

Flytta stora glaspaneler eller substrat i OLED/LCD-produktionsmiljöer.

Sammansatt halvledare / MEMS

Används i GaN-, SiC- och MEMS-tillverkningslinjer där kontamineringskontroll och positioneringsnoggrannhet är avgörande.

Dess roll som sluteffektor är särskilt avgörande för att säkerställa defektfri och stabil hantering under känsliga operationer.

Anpassningsmöjligheter

Vi erbjuder omfattande anpassningsmöjligheter för att möta varierande utrustnings- och processkrav:

GaffeldesignTvåstifts-, flerfinger- eller delad nivålayout.
Kompatibilitet med skivstorlekarFrån 2” till 12” wafers.
MonteringsgränssnittKompatibel med OEM-robotarmar.
Tjocklek och yttoleranserMikronnivåplanhet och kantrarundning tillgänglig.
Halkfria funktionerValfria yttexturer eller beläggningar för säkert wafergrepp.

Varjekeramisk ändeffektorär utformad i samarbete med kunder för att säkerställa exakt passform med minimala verktygsbyten.

Vanliga frågor (FAQ)

F1: Hur är SiC bättre än kvarts för en sluteffektorapplikation?
A1:Även om kvarts ofta används för sin renhet, saknar det mekanisk seghet och är benäget att gå sönder under belastning eller temperaturchock. SiC erbjuder överlägsen styrka, slitstyrka och termisk stabilitet, vilket avsevärt minskar risken för driftstopp och skador på wafern.

F2: Är denna keramiska gaffelarm kompatibel med alla robotstyrda waferhanterare?
A2:Ja, våra keramiska ändeffektorer är kompatibla med de flesta större waferhanteringssystem och kan anpassas till dina specifika robotmodeller med exakta tekniska ritningar.

F3: Kan den hantera 300 mm wafers utan att de deformeras?
A3:Absolut. SiC:s höga styvhet gör att även tunna, långa gaffelarmar kan hålla 300 mm wafers säkert utan att bukta eller böjas under rörelse.

F4: Vad är den typiska livslängden för en SiC-keramisk ändeffektor?
A4:Med korrekt användning kan en SiC-ändeffektor hålla 5 till 10 gånger längre än traditionella kvarts- eller aluminiummodeller, tack vare dess utmärkta motståndskraft mot termisk och mekanisk stress.

F5: Erbjuder ni ersättningsdelar eller snabba prototyptjänster?
A5:Ja, vi stöder snabb provproduktion och erbjuder utbytestjänster baserade på CAD-ritningar eller reverse engineering av delar från befintlig utrustning.

Om oss

XKH specialiserar sig på högteknologisk utveckling, produktion och försäljning av specialoptiska glas och nya kristallmaterial. Våra produkter används inom optisk elektronik, konsumentelektronik och militären. Vi erbjuder optiska safirkomponenter, mobiltelefonlinsskydd, keramik, LT, kiselkarbid SIC, kvarts och halvledarkristallskivor. Med skicklig expertis och den senaste utrustningen utmärker vi oss inom icke-standardiserad produktbearbetning, med målet att vara ett ledande högteknologiskt företag inom optoelektroniska material.