Kvartsglasskiva JGS1 JGS2 BF33 Skiva 8 tum 12 tum 725 ± 25 um eller anpassad
Specifikation
Specifikation | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Diameter | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Tjocklek | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Primärlägenhet | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Skåra | Hack | Hack | Hack |
LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
Rosett | ±20µm | ±30µm | ±40µm | ±40µm | ±40µm |
Varp | ≤ 30µm | ≤ 40µm | ≤ 70µm | ≤ 80µm | ≤ 80µm |
Kantavrundning | Överensstämmer med SEMI M1.2-standarden/se IEC62276 | ||||
Yttyp | Enkelsidigt polerad / Dubbelsidigt polerad | ||||
Polerad sida Ra | Ra≤1nm | ||||
Kriterier för baksidan | Ra 0,2-0,7um eller anpassad |
Kvartsglasskiva JGS1 JGS2 BF33 Skivaparametertabell
Ansökan
Kvartsglasskivor tillverkade av JGS1, JGS2 och BF33 används ofta inom olika högprecisionsindustrier. Dessa skivor är idealiska för halvledartillverkning, inklusive fotomasksubstrat och waferoptik. De är också lämpliga för optiska komponenter, lasrar och sensorer inom industrier som telekommunikation, flyg- och rymdteknik och medicintekniska produkter. Deras höga termiska stabilitet och motståndskraft mot termisk chock gör dem perfekta för extrema temperaturmiljöer, medan deras exceptionella transmittans är avgörande för ultraviolett (UV) och infraröd (IR) optik.
Fastigheter
Materialtyper:
JGS1: Hög UV-genomsläpplighet, utmärkt för ultraviolett ljus.
JGS2: Balanserad transmittans över UV-, synligt och infrarött område, lämplig för allmän optisk användning.
BF33: Borosilikatglas med hög kemisk resistens och termisk hållbarhet. Storleksalternativ:
Finns i standardstorlekar på 8-tums och 12-tums wafers.
Anpassade storlekar kan tillverkas baserat på specifika krav. Tjocklek:
Standardtjockleken är 725 ± 25 μm.
Anpassningsbar tjocklek tillgänglig för att möta olika industriella behov.
Termiska egenskaper:
Utmärkt termisk stabilitet, lämplig för användning i miljöer med hög temperatur.
Hög motståndskraft mot termisk chock.
Kemisk resistens:
Stark motståndskraft mot korrosion från syror, alkalier och de flesta kemikalier, särskilt i BF33.
Optiska egenskaper:
JGS1- och JGS2-wafers erbjuder hög optisk transmittans i ultravioletta (UV), synliga och infraröda (IR) områden.
Idealisk för precisionsoptiska komponenter, fotonik och laserapplikationer.
Ytkvalitet:
Hög ytjämnhet och jämnhet, vilket säkerställer precision vid tillverkning av halvledare och optiska komponenter.
Dessa egenskaper gör JGS1-, JGS2- och BF33-wafers mångsidiga och tillförlitliga för högpresterande applikationer inom industrier som optik, elektronik och halvledare.
Total
Kvartsglasskivor tillverkade av JGS1, JGS2 och BF33 erbjuder exceptionell prestanda inom en mängd olika krävande tillämpningar. Dessa skivor finns i standardstorlekar på 8 tum och 12 tum med en tjocklek på 725 ± 25 μm och kan även anpassas för att möta specifika krav. JGS1 och JGS2 ger hög optisk transmittans i UV-, synligt och IR-områden, medan BF33 erbjuder utmärkt kemisk resistens och termisk stabilitet. Med hög ytjämnhet och jämnhet är dessa skivor idealiska för precisionsindustrier som halvledare, optik och fotonik, vilket säkerställer tillförlitlighet och hållbarhet i extrema miljöer och kritiska tillämpningar.
Detaljerat diagram

