Mönstrat safirsubstrat PSS 2 tum 4 tum 6 tum ICP torretsning kan användas för LED-chips
Kärnegenskap
1. Materialegenskaper: Substratmaterialet är en enkristallsafir (Al₂O₃) med hög hårdhet, hög värmebeständighet och kemisk stabilitet.
2. Ytstruktur: Ytan formas genom fotolitografi och etsning till periodiska mikronanostrukturer, såsom koner, pyramider eller hexagonala matriser.
3. Optisk prestanda: Genom ytmönstringsdesignen minskas den totala ljusreflektionen vid gränssnittet och ljusutvinningseffektiviteten förbättras.
4. Termisk prestanda: Safirsubstrat har utmärkt värmeledningsförmåga, lämpligt för högpresterande LED-applikationer.
5. Storleksspecifikationer: Vanliga storlekar är 2 tum (50,8 mm), 4 tum (100 mm) och 6 tum (150 mm).
Huvudsakliga tillämpningsområden
1. LED-tillverkning:
Förbättrad ljusutvinningseffektivitet: PSS minskar ljusförlusten genom mönsterdesign, vilket avsevärt förbättrar LED-ljusstyrka och ljuseffektivitet.
Förbättrad epitaxiell tillväxtkvalitet: Den mönstrade strukturen ger en bättre tillväxtbas för GaN-epitaxiallager och förbättrar LED-prestanda.
2. Laserdiod (LD):
Högeffektslasrar: PSS höga värmeledningsförmåga och stabilitet är lämpliga för högeffektslaserdioder, vilket förbättrar värmeavledningsprestanda och tillförlitlighet.
Låg tröskelström: Optimera epitaxiell tillväxt, minska laserdiodens tröskelström och förbättra effektiviteten.
3. Fotodetektor:
Hög känslighet: PSS:s höga ljustransmission och låga defektdensitet förbättrar fotodetektorns känslighet och svarshastighet.
Brett spektralrespons: lämplig för fotoelektrisk detektion i det ultraviolett till synligt område.
4. Kraftelektronik:
Högspänningsbeständighet: Sapphires höga isolering och termiska stabilitet är lämpliga för högspänningsenheter.
Effektiv värmeavledning: Hög värmeledningsförmåga förbättrar värmeavledningsprestanda hos kraftenheter och förlänger livslängden.
5. Rf-enheter:
Högfrekvensprestanda: PSS:s låga dielektriska förlust och höga termiska stabilitet är lämpliga för högfrekventa RF-enheter.
Lågt brus: Hög planhet och låg defektdensitet minskar enhetsbrus och förbättrar signalkvaliteten.
6. Biosensorer:
Högkänslighetsdetektering: PSS höga ljustransmission och kemiska stabilitet är lämpliga för biosensorer med hög känslighet.
Biokompatibilitet: Safirs biokompatibilitet gör den lämplig för medicinska tillämpningar och biodetektionstillämpningar.
Mönstrat safirsubstrat (PSS) med GaN epitaxiellt material:
Mönstrat safirsubstrat (PSS) är ett idealiskt substrat för epitaxial tillväxt av GaN (galliumnitrid). Gitterkonstanten för safir ligger nära GaN, vilket kan minska gitterfel och defekter i epitaxial tillväxt. Mikronanostrukturen hos PSS-ytan förbättrar inte bara ljusutvinningseffektiviteten, utan förbättrar också kristallkvaliteten hos GaN-epitaxiellageret, vilket förbättrar prestandan och tillförlitligheten hos lysdioden.
Tekniska parametrar
| Punkt | Mönstrat safirsubstrat (2~6 tum) | ||
| Diameter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Tjocklek | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Ytorientering | C-plan (0001) vinkelsnedställning mot M-axeln (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-plan (0001) vinkelsned mot A-axeln (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Primär plan orientering | A-plan (11-20) ± 1,0° | ||
| Primär plan längd | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-plan | Klockan 9 | ||
| Ytbehandling framsida | Mönstrad | ||
| Baksida Ytbehandling | SSP: Finslipad, Ra=0,8–1,2 µm; DSP: Epipolerad, Ra<0,3 nm | ||
| Lasermärkning | Baksida | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| ROSETT | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
| VARP | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
| Kantuslutning | ≤2 mm | ||
| Mönsterspecifikation | Formstruktur | Kupol, kon, pyramid | |
| Mönsterhöjd | 1,6~1,8 μm | ||
| Mönsterdiameter | 2,75~2,85 μm | ||
| Mönsterutrymme | 0,1~0,3 μm | ||
XKH specialiserar sig på att tillhandahålla högkvalitativa, kundanpassade mönstrade safirsubstrat (PSS) med teknisk support och eftermarknadsservice för att hjälpa kunder att uppnå effektiv innovation inom LED, display och optoelektronik.
1. Högkvalitativ PSS-leverans: Mönstrade safirsubstrat i en mängd olika storlekar (2", 4", 6") för att möta behoven hos LED-, display- och optoelektroniska enheter.
2. Anpassad design: Anpassa ytans mikronanostruktur (t.ex. kon, pyramid eller hexagonal array) efter kundens behov för att optimera ljusutvinningseffektiviteten.
3. Teknisk support: Tillhandahålla PSS-applikationsdesign, processoptimering och teknisk konsultation för att hjälpa kunder att förbättra produktprestanda.
4. Stöd för epitaxiellt tillväxt: PSS matchat med GaN-epitaxiellt material tillhandahålls för att säkerställa högkvalitativ epitaxiellt lagertillväxt.
5. Testning och certifiering: Tillhandahåll en PSS-kvalitetsinspektionsrapport för att säkerställa att produkterna uppfyller branschstandarder.
Detaljerat diagram
