p-typ 4H/6H-P 3C-N TYP SIC-substrat 4 tum 〈111〉± 0,5° Noll MPD

Kort beskrivning:

P-typ 4H/6H-P 3C-N typ SiC-substrat, 4-tum med en 〈111〉± 0,5° orientering och Noll MPD (Micro Pipe Defect) klass, är ett högpresterande halvledarmaterial designat för avancerad elektronisk utrustning tillverkning. Känt för sin utmärkta värmeledningsförmåga, höga genombrottsspänning och starka motstånd mot höga temperaturer och korrosion, är detta substrat idealiskt för kraftelektronik och RF-applikationer. Noll MPD-kvaliteten garanterar minimala defekter, vilket säkerställer tillförlitlighet och stabilitet i högpresterande enheter. Dess exakta 〈111〉± 0,5° orientering möjliggör noggrann inriktning under tillverkningen, vilket gör den lämplig för storskaliga tillverkningsprocesser. Detta substrat används ofta i högtemperatur-, högspännings- och högfrekventa elektroniska enheter, såsom strömomvandlare, växelriktare och RF-komponenter.

Skicka e-post till oss

Produktdetaljer

Produkttaggar

4H/6H-P Typ SiC kompositsubstrat Gemensam parametertabell

4 tum diameter SilikonKarbid (SiC) substrat Specifikation

Kvalitet			Noll MPD-produktion Betyg (Z Kvalitet)	Standardproduktion Betyg (P Kvalitet)	Dummy betyg (D Kvalitet)
Diameter			99,5 mm~100,0 mm
Tjocklek			350 μm ± 25 μm
Wafer orientering			Av axel: 2,0°-4,0° mot [112(-)0] ± 0,5° för 4H/6H-P, On-axel:〈111〉± 0,5° för 3C-N
Mikrorördensitet			0 cm-2
Resistivitet	p-typ 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏcm		≤0,3 Ωꞏcm
	n-typ 3C-N		≤0,8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Primär platt orientering		4H/6H-P	- {1010} ± 5,0°
		3C-N	- {110} ± 5,0°
Primär platt längd			32,5 mm ± 2,0 mm
Sekundär platt längd			18,0 mm ± 2,0 mm
Sekundär platt orientering			Silikon framsidan uppåt: 90° CW. från Prime flat±5,0°
Kantexkludering			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Grovhet			Polsk Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0,2 nm		Ra≤0,5 nm
Kantsprickor av högintensivt ljus			Ingen		Kumulativ längd ≤ 10 mm, enkel längd ≤2 mm
Hexplattor av högintensivt ljus			Kumulativ yta ≤0,05 %		Kumulativ yta ≤0,1 %
Polytypytor av högintensivt ljus			Ingen		Kumulativ yta≤3 %
Visuella kolinneslutningar			Kumulativ yta ≤0,05 %		Kumulativ yta ≤3 %
Silikonyta repor av högintensivt ljus			Ingen		Kumulativ längd≤1×waferdiameter
Edge Chips High By Intensity Light			Ingen tillåten ≥0,2 mm bredd och djup		5 tillåtna, ≤1 mm vardera
Silikon Ytförorening med hög intensitet			Ingen
Förpackning			Kassett med flera wafer eller enstaka wafer-behållare

Anmärkningar:

※Defektgränser gäller för hela skivans yta förutom kantexklusionsområdet. # Reporna bör endast kontrolleras på Si-ansikte.

P-typ 4H/6H-P 3C-N typ 4-tums SiC-substrat med 〈111〉± 0,5° orientering och noll MPD-kvalitet används ofta i högpresterande elektroniska applikationer. Dess utmärkta värmeledningsförmåga och höga genombrottsspänning gör den idealisk för kraftelektronik, såsom högspänningsomkopplare, växelriktare och effektomvandlare, som arbetar under extrema förhållanden. Dessutom säkerställer substratets motståndskraft mot höga temperaturer och korrosion stabil prestanda i tuffa miljöer. Den exakta 〈111〉± 0,5°-orienteringen förbättrar tillverkningsnoggrannheten, vilket gör den lämplig för RF-enheter och högfrekventa applikationer, såsom radarsystem och trådlös kommunikationsutrustning.

Fördelarna med N-typ SiC kompositsubstrat inkluderar:

1. Hög värmeledningsförmåga: Effektiv värmeavledning, vilket gör den lämplig för högtemperaturmiljöer och högeffektapplikationer.
2. Hög genombrottsspänning: Säkerställer tillförlitlig prestanda i högspänningstillämpningar som strömomvandlare och växelriktare.
3. Noll MPD (Micro Pipe Defect) Grade: Garanterar minimala defekter, vilket ger stabilitet och hög tillförlitlighet i kritiska elektroniska enheter.
4. Korrosionsbeständighet: Hållbar i tuffa miljöer, vilket säkerställer långvarig funktionalitet under krävande förhållanden.
5. Exakt 〈111〉± 0,5° orientering: Möjliggör noggrann inriktning under tillverkning, vilket förbättrar enhetens prestanda i högfrekvens- och RF-applikationer.

Sammantaget är P-typ 4H/6H-P 3C-N typ 4-tums SiC-substrat med 〈111〉± 0,5° orientering och Noll MPD-kvalitet ett högpresterande material som är idealiskt för avancerade elektroniska applikationer. Dess utmärkta värmeledningsförmåga och höga genombrottsspänning gör den perfekt för kraftelektronik som högspänningsomkopplare, växelriktare och omvandlare. Noll MPD-graden säkerställer minimala defekter, vilket ger tillförlitlighet och stabilitet i kritiska enheter. Dessutom säkerställer substratets motståndskraft mot korrosion och höga temperaturer hållbarhet i tuffa miljöer. Den exakta 〈111〉± 0,5° orienteringen möjliggör noggrann inriktning under tillverkningen, vilket gör den mycket lämplig för RF-enheter och högfrekvensapplikationer.