Flertråds diamantsågmaskin för ultrahårda spröda material i SiC-safir
Introduktion till diamantsågmaskin med flera trådar
Diamantsågmaskinen med flera trådar är ett toppmodernt skärsystem utformat för bearbetning av extremt hårda och spröda material. Genom att använda ett flertal parallella diamantbelagda trådar kan maskinen samtidigt skära flera wafers i en enda cykel, vilket uppnår både hög genomströmning och precision. Denna teknik har blivit ett viktigt verktyg inom industrier som halvledare, solceller, lysdioder och avancerad keramik, särskilt för material som SiC, safir, GaN, kvarts och aluminiumoxid.
Jämfört med konventionell entrådsskärning levererar flertrådskonfigurationen dussintals till hundratals skivor per sats, vilket avsevärt minskar cykeltiden samtidigt som utmärkt planhet (Ra < 0,5 μm) och dimensionell precision (±0,02 mm) bibehålls. Dess modulära design integrerar automatiserad trådspänning, arbetsstyckshanteringssystem och onlineövervakning, vilket säkerställer långsiktig, stabil och helt automatiserad produktion.
Tekniska parametrar för diamantsågmaskin med flera trådar
| Punkt | Specifikation | Punkt | Specifikation |
|---|---|---|---|
| Maximal arbetsstorlek (kvadratisk) | 220 × 200 × 350 mm | Drivmotor | 17,8 kW × 2 |
| Maximal arbetsstorlek (rund) | Φ205 × 350 mm | Tråddrivmotor | 11,86 kW × 2 |
| Spindelavstånd | Φ250 ±10 × 370 × 2 axel (mm) | Lyftmotor för arbetsbord | 2,42 kW × 1 |
| Huvudaxel | 650 mm | Svängmotor | 0,8 kW × 1 |
| Trådens hastighet | 1500 m/min | Arrangemangsmotor | 0,45 kW × 2 |
| Tråddiameter | Φ0,12–0,25 mm | Spännmotor | 4,15 kW × 2 |
| Lyfthastighet | 225 mm/min | Slammotor | 7,5 kW × 1 |
| Max bordrotation | ±12° | Slamtankens kapacitet | 300 liter |
| Svängvinkel | ±3° | Kylvätskeflöde | 200 l/min |
| Svängfrekvens | ~30 gånger/min | Temperaturnoggrannhet | ±2 °C |
| Matningshastighet | 0,01–9,99 mm/min | Strömförsörjning | 335+210 (mm²) |
| Trådmatningshastighet | 0,01–300 mm/min | Tryckluft | 0,4–0,6 MPa |
| Maskinstorlek | 3550 × 2200 × 3000 mm | Vikt | 13 500 kg |
Arbetsmekanism för diamantsågmaskin med flera trådar
-
Flertrådsskärningsrörelse
Flera diamantvajrar rör sig med synkroniserade hastigheter upp till 1500 m/min. Precisionsstyrda remskivor och sluten spänningsreglering (15–130 N) håller vajrarna stabila, vilket minskar risken för avvikelse eller brott. -
Noggrann matning och positionering
Servodriven positionering uppnår en noggrannhet på ±0,005 mm. Laser- eller visuellt assisterad justering (tillval) förbättrar resultaten för komplexa former. -
Kylning och borttagning av skräp
Högtryckskylvätska avlägsnar kontinuerligt spån och kyler arbetsytan, vilket förhindrar termiska skador. Flerstegsfiltrering förlänger kylvätskans livslängd och minskar stilleståndstiden. -
Smart kontrollplattform
Servodrivrutiner med hög respons (<1 ms) justerar dynamiskt matning, spänning och trådhastighet. Integrerad recepthantering och parameterväxling med ett klick effektiviserar massproduktionen.
Kärnfördelar med flertråds diamantsågmaskin
-
Hög produktivitet
Kan skära 50–200 wafers per körning, med en skärförlust <100 μm, vilket förbättrar materialutnyttjandet med upp till 40 %. Genomströmningen är 5–10 gånger högre än för traditionella entrådssystem. -
Precisionskontroll
Trådspänningsstabilitet inom ±0,5 N säkerställer konsekventa resultat på olika spröda material. Realtidsövervakning på ett 10-tums HMI-gränssnitt stöder receptlagring och fjärrstyrning. -
Flexibel, modulär byggnation
Kompatibel med tråddiametrar från 0,12–0,45 mm för olika skärprocesser. Robothantering som tillval möjliggör helautomatiserade produktionslinjer. -
Tillförlitlighet av industriell kvalitet
Kraftiga gjutna/smidda ramar minimerar deformation (<0,01 mm). Styrskivor med keramiska eller hårdmetallbeläggningar ger över 8000 timmars livslängd.
Användningsområden för diamantsågmaskin med flera trådar
-
HalvledareSkärning av SiC för kraftmoduler för elbilar, GaN-substrat för 5G-enheter.
-
SolcellerHöghastighetsskivning av kiselskivor med ±10 μm likformighet.
-
LED och optikSafirsubstrat för epitaxi och precisionsoptiska element med <20 μm kantflisning.
-
Avancerad keramikBearbetning av aluminiumoxid, AlN och liknande material för komponenter inom flyg- och rymdteknik och värmehantering.
Vanliga frågor – Diamantsågmaskin med flera trådar
F1: Vilka är fördelarna med flertrådssågning jämfört med entrådsmaskiner?
A: Flertrådssystem kan skära dussintals till hundratals wafers samtidigt, vilket ökar effektiviteten med 5–10 gånger. Materialutnyttjandet är också högre med skärförlust under 100 μm, vilket gör det idealiskt för massproduktion.
F2: Vilka typer av material kan bearbetas?
A: Maskinen är konstruerad för hårda och spröda material, inklusive kiselkarbid (SiC), safir, galliumnitrid (GaN), kvarts, aluminiumoxid (Al₂O₃) och aluminiumnitrid (AlN).
F3: Vilken är den uppnåeliga noggrannheten och ytkvaliteten?
A: Ytjämnheten kan nå Ra <0,5 μm, med en dimensionsnoggrannhet på ±0,02 mm. Kantflisning kan kontrolleras till <20 μm, vilket uppfyller halvledar- och optoelektronikindustrins standarder.
F4: Orsakar skärprocessen sprickor eller skador?
A: Med högtryckskylvätska och sluten spänningsreglering minimeras risken för mikrosprickor och spänningsskador, vilket säkerställer utmärkt waferintegritet.
