Högpresterande ändeffektor av aluminiumoxidkeramik (gaffelarm) för halvledar- och renrumsautomation

Kort beskrivning:

Alumina Ceramic End Effector, även kallad keramisk gaffelarm eller robotkeramisk hand, är en högprecisionshanteringskomponent designad för automatiserade system i halvledar-, solcells-, paneldisplay- och högrena laboratoriemiljöer. Den är konstruerad för att ge exceptionell termisk stabilitet, mekanisk styvhet och kemisk resistens, vilket erbjuder ren, pålitlig och säker transport av känsliga material som kiselskivor, glassubstrat och elektroniska mikrokomponenter.

Skicka e-post till oss

Drag

Detaljerat diagram

Produktintroduktion

Som en typ av robotisk ändeffektor är denna keramiska komponent det slutliga gränssnittet mellan automationssystemet och arbetsstycket. Den spelar en avgörande roll vid precisionsöverföring, uppriktning, lastning/lossning och positioneringsuppgifter i renrum och vakuummiljöer.

keramisk arm för waferdrivning av halvledare G13

keramisk arm för waferdrivning av halvledare G10

keramisk arm för waferdrivning av halvledare G07

Materialöversikt – Aluminiumkeramik (Al₂O₃)

Aluminiumoxidkeramik är ett mycket stabilt och kemiskt inert tekniskt keramiskt material känt för sina utmärkta mekaniska och elektriska egenskaper. Den högrena aluminiumoxiden (≥ 99,5 %) som används i dessa ändeffektorer säkerställer:

Hög hårdhet (Mohs 9)Näst efter diamant erbjuder aluminiumoxid extrem slitstyrka.
HögtemperaturkapacitetBibehåller strukturell integritet över 1600 °C.
Kemisk inertitetResistent mot syror, alkalier, lösningsmedel och plasmaetsningsmiljöer.
Elektrisk isoleringMed hög dielektrisk hållfasthet och låg dielektrisk förlust.
Låg termisk expansionSäkerställer dimensionsstabilitet i termiska cykliska miljöer.
Låg partikelgenereringViktigt för kompatibilitet med renrum (klass 10 till klass 1000).

Dessa egenskaper gör aluminiumoxidkeramik idealisk för verksamhetskritiska operationer i kontamineringskänsliga industrier.

Funktionella applikationer

Ändeffektorn av aluminiumoxidkeramik används ofta i högteknologiska industriella processer, särskilt där traditionella metall- eller plastmaterial inte klarar sig på grund av termisk expansion, kontaminering eller korrosion. Viktiga tillämpningsområden inkluderar:

Överföring av halvledarskivor
Fotolitografiska lastnings- och lossningssystem
Hantering av glassubstrat i OLED- och LCD-linjer
Överföring av kristallin kiselskivor i solcellsproduktion
Automatiserad optisk eller mikroelektronisk inspektion
Provtransport i analytiska eller biomedicinska laboratorier
Automationssystem för vakuummiljöer

Dess förmåga att fungera utan att introducera partiklar eller statisk elektricitet gör den oumbärlig för precisa robotoperationer inom renrumsautomation.

Designfunktioner och anpassning

Varje keramisk ändeffektor är konstruerad för att passa en specifik robotarm eller ett specifikt waferhanteringssystem. Vi stöder fullständig anpassning baserad på:

Kompatibilitet med waferstorlekar: 2", 4", 6", 8", 12" och mer
Spårgeometri och avståndKlarar kantgrepp, stöd på baksidan eller skårade waferdesigner
SugportarIntegrerade vakuumhål eller -kanaler för beröringsfri hantering
MonteringskonfigurationHål, gängor, spår anpassade till din robots ändverktygsfläns
YtbehandlingPolerad, överlappad eller finslipad yta (Ra < 0,2 µm tillgängligt)
KantskyddRundade hörn eller avfasning för att undvika skador på skivorna

Genom att använda CAD-ritningar eller 3D-modeller från kunder kan våra ingenjörer optimera varje gaffelarm vad gäller vikt, styrka och renlighet.

sv_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Fördelar med keramiska ändeffektorer

Särdrag	Förmån
Hög mekanisk styvhet	Bibehåller dimensionell precision under robotbelastningskrafter
Utmärkt termisk prestanda	Fungerar tillförlitligt i miljöer med höga temperaturer eller plasma
Noll metallförorening	Ingen risk för jonkontaminering vid kritisk halvledarbearbetning
Lågfriktionsyta	Minskar reprisken på wafer- eller glassubstrat
Antistatisk och icke-magnetisk	Drar inte till sig damm och påverkar inte magnetkänsliga komponenter
Lång livslängd	Överlägsen slitstyrka i upprepade höghastighetsautomationscykler
Ultraren kompatibilitet	Lämplig för renrum enligt ISO 14644 (klass 100 och lägre)

Jämfört med armar av plast eller aluminium ger aluminiumoxidkeramik dramatiskt förbättrad kemisk och fysisk stabilitet med minimala underhållskrav.

Egendom	Metallarm	Plastarm	Arm av aluminiumoxidkeramisk
Hårdhet	Måttlig	Låg	Mycket hög (Mohs 9)
Termisk stabilitet	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Kemisk resistens	Måttlig	Dålig	Excellent
Lämplighet för renrum	Medium	Låg	Mycket hög
Slitstyrka	Medium	Låg	Utestående
Dielektrisk styrka	Låg	Medium	Hög
Anpassad bearbetning med precision	Begränsad	Måttlig	Hög (±0,01 mm möjligt)

Tekniska specifikationer

Parameter	Värde
Material	Högren aluminiumoxid (≥ 99,5 %)
Arbetstemperatur	Upp till 1600°C
Ytjämnhet	Ra ≤ 0,2 µm (valfritt)
Kompatibla skivstorlekar	2" till 12" eller specialanpassad
Planhetstolerans	±0,01 mm (beroende på tillämpning)
Vakuumsugningsstöd	Valfria, anpassningsbara kanaler
Monteringsalternativ	Genomgående skruv, fläns, slitsade hål

Vanliga frågor (FAQ)

F1: Kan sluteffektorn integreras i befintliga robotsystem?
A1:Ja. Vi stöder anpassning baserat på ert robotgränssnitt. Ni kan skicka oss en CAD-ritning eller flänsmått för exakt anpassning.

F2: Kommer keramiska armar att gå sönder lätt under användning?
A2:Även om keramik är sprött av naturen, använder våra konstruktioner optimerad geometri för att minimera spänningskoncentration. Under korrekta användningsförhållanden ger de betydligt längre livslängd än metall eller plast.

F3: Är det möjligt att använda detta i ultrahögvakuum- eller plasmaetsningskammare?
A3:Ja. Aluminiumkeramik avger inte gas, är termiskt stabil och korrosionsbeständig – perfekt lämpad för miljöer med högt vakuum, reaktiv gas eller plasma.

F4: Hur rengörs eller underhålls dessa komponenter?
A4:De kan rengöras med avjoniserat vatten, alkohol eller rengöringsmedel som är kompatibla med renrum. Inget särskilt underhåll krävs på grund av deras kemiska stabilitet och inerta yta.

Om oss

XKH specialiserar sig på högteknologisk utveckling, produktion och försäljning av specialoptiska glas och nya kristallmaterial. Våra produkter används inom optisk elektronik, konsumentelektronik och militären. Vi erbjuder optiska safirkomponenter, mobiltelefonlinsskydd, keramik, LT, kiselkarbid SIC, kvarts och halvledarkristallskivor. Med skicklig expertis och den senaste utrustningen utmärker vi oss inom icke-standardiserad produktbearbetning, med målet att vara ett ledande högteknologiskt företag inom optoelektroniska material.