Alumina Keramisk Ändeffektor / Gaffelarm för Wafer- och Substrathantering

Ändeffektor/gaffelarm av aluminiumoxidkeramisk material för hantering av wafers och substrat Utvald bild

Kort beskrivning:

Alumina Ceramic End Effector, vanligtvis kallad en keramisk gaffelarm eller keramisk gripare, är ett viktigt verktyg som används i robotautomation och produktionslinjer för renrum. Denna komponent installeras på robotarmen som det slutliga gränssnittet mot produkten och ansvarar för att plocka, hålla, justera och överföra mycket känsliga delar såsom kiselskivor, glaspaneler eller mikroelektroniska komponenter.

Skicka e-post till oss

Drag

Detaljerat diagram

keramisk arm för waferdrivning av halvledare-02 - 副本

Översikt över aluminiumoxidkeramisk ändeffektor

Alumina Ceramic End Effector, vanligtvis kallad en keramisk gaffelarm eller keramisk gripare, är ett viktigt verktyg som används i robotautomation och produktionslinjer för renrum. Alumina Ceramic End Effector installeras på robotarmen som det slutliga gränssnittet mot produkten och ansvarar för att plocka, hålla, justera och överföra mycket känsliga delar såsom kiselskivor, glaspaneler eller mikroelektroniska komponenter.

Tillverkad av ultraren aluminiumoxidkeramik (Al2O3) ger denna gaffelarm en exceptionellt ren och stabil lösning för miljöer där metallkontaminering, plastisk deformation eller partikelgenerering inte tolereras.

Materialegenskaper – Varför aluminiumoxid

Om aluminiumoxidkeramisk ändeffektor, aluminiumoxid (Al2O3) är en av de mest etablerade och pålitligaavancerad teknisk keramikDen kvalitet vi använder (≥99,5 % renhet) erbjuder en unik kombination av fysikaliska och kemiska egenskaper som gör den till det materialval som föredras för halvledar- och vakuumapplikationer:

Extrem hårdhet– Med en Mohs-hårdhet på 9 erbjuder den långvarig hållbarhet och reptålighet.
Termisk uthållighet– Bibehåller strukturell integritet bortom 1600°C och överträffar motsvarigheter i metall och polymer.
Elektrisk isolering– Eliminerar statisk elektricitet och ger fullständigt dielektriskt skydd.
Kemisk immunitet– Opåverkad av syror, alkalier, plasmagaser och aggressiva rengöringslösningar.
Ultralåg kontamineringsrisk– Icke-gasavgivande yta med låg friktion som minimerar partikelutsläpp i renrum.

Dessa egenskaper gör att ändeffektorer av aluminiumoxidkeramik kan fungera felfritt i tuffa miljöer med hög precision.

Kärntillämpningar av aluminiumoxidkeramisk ändeffektor

Mångsidigheten hos ändeffektorgafflar av aluminiumoxidkeramik gör dem viktiga i flera högteknologiska industrier:

Halvledarwafertransportsystem– Säker förflyttning av kiselskivor från process till process utan mikrorepor.
Produktion av plattskärmar– Hantering av ömtåliga glassubstrat för tillverkning av OLED-, LCD- eller microLED-skärmar.
Tillverkning av solceller (PV)– Stödjer lastning och lossning av solskivor under höghastighetsrobotcykler.
Montering av optiska och elektroniska komponenter– Greppar ömtåliga delar som sensorer, motstånd och miniatyrchips.
Vakuum- och renrumsautomation– Utföra precisionsuppgifter under ultrarena, partikelkontrollerade förhållanden.

I varje scenario utgör den keramiska ändeffektorn av aluminiumoxid den avgörande länken mellan robotautomation och den produkt som flyttas.

Design- och anpassningsalternativ för aluminiumoxidkeramisk ändeffektor

Varje produktionslinje har unika krav. Därför erbjuder vi skräddarsydda lösningar för ändeffektorer av aluminiumoxidkeramik för olika waferstorlekar, robotsystem och hanteringsmetoder:

Waferkompatibilitet: Hanterar wafers från 2” till 12” och kan skalas för anpassade delar.

Geometrialternativ: Enkelgaffel, dubbelgaffel, flerspårsgaffel eller anpassade former med integrerade fördjupningar.

Vakuumhantering: Valfria vakuumsugkanaler för kontaktlöst waferstöd.

Monteringsgränssnitt: Anpassade bulthål, flänsar eller slitsade konstruktioner för att passa alla robotarmar.

Ytbehandlingar: Polerade eller superfinierade ytor (ner till Ra < 0,15 μm).

Kantprofiler: Avfasade eller rundade kanter för maximalt waferskydd.

Vårt ingenjörsteam för aluminiumoxidkeramiska ändeffektorer kan arbeta utifrån kundernas CAD-ritningar eller provdelar, vilket säkerställer sömlös integration i befintliga automationssystem.

Viktiga fördelar med ändeffektorer av aluminiumoxidkeramik

Särdrag	Varför det spelar roll
Dimensionell precision	Bibehåller perfekt inriktning även i höghastighets-, repetitiva cykler.
Icke-förorenande	Producerar praktiskt taget inga partiklar och uppfyller därmed strikta krav för renrum.
Värme- och korrosionsbeständig	Tål aggressiva bearbetningssteg och termiska chocker.
Ingen statisk laddning	Skyddar känsliga wafers och komponenter från elektrostatisk risk.
Lätt men styv	Erbjuder hög styvhet utan att kompromissa med robotarmens belastning.
Förlängd livslängd	Överträffar metall- och polymerarmar i livslängd och tillförlitlighet.

Materialjämförelse av aluminiumoxidkeramisk ändeffektor

Attribut	Plastgaffelarm	Gaffelarm i aluminium/metall	Gaffelarm av aluminiumoxidkeramisk
Hårdhet	Låg	Medium	Mycket hög
Termiskt intervall	≤ 150°C	≤ 500°C	Upp till 1600°C
Kemisk stabilitet	Dålig	Måttlig	Excellent
Renrumsbetyg	Låg	Genomsnitt	Idealisk för klass 100 eller bättre
Slitstyrka	Begränsad	Bra	Utestående
Anpassningsnivå	Måttlig	Begränsad	Omfattande

Vanliga frågor (FAQ) om aluminiumoxidkeramisk ändeffektor

F1: Vad skiljer en ändeffektor av aluminiumoxidkeramik från en av metall?
A1:Till skillnad från armar av aluminium eller stål korroderar, deformeras eller introduceras inte metalljoner i aluminiumoxidkeramik i halvledarprocesser. Den förblir dimensionsstabil under extrema förhållanden och släpper ut praktiskt taget inga partiklar.

F2: Kan dessa keramiska ändeffektorer av aluminiumoxid användas i högvakuum- och plasmakammare?
A2:Ja. Aluminiumoxidkeramik äricke-utgasandeoch plasmaresistent, vilket gör det till ett föredraget material för vakuumbearbetning och etsningsutrustning.

F3: Hur anpassningsbara är dessa gaffelarmar med ändeffektorer från aluminiumoxidkeramik?
A3:Varje enhet kan varahelt anpassad—inklusive form, springor, sughål, monteringsstil och kantfinish — för att matcha ditt robotsystems krav.

F4: Är de ömtåliga?
A4:Även om keramik har naturlig sprödhet, fördelar vår konstruktionsteknik belastningen jämnt och minimerar spänningspunkter. Vid korrekt hantering överstiger livslängden ofta den för metall- eller polymeralternativ.

Om oss

XKH specialiserar sig på högteknologisk utveckling, produktion och försäljning av specialoptiska glas och nya kristallmaterial. Våra produkter används inom optisk elektronik, konsumentelektronik och militären. Vi erbjuder optiska safirkomponenter, mobiltelefonlinsskydd, keramik, LT, kiselkarbid SIC, kvarts och halvledarkristallskivor. Med skicklig expertis och den senaste utrustningen utmärker vi oss inom icke-standardiserad produktbearbetning, med målet att vara ett ledande högteknologiskt företag inom optoelektroniska material.