8-tums SiC-produktionskvalitetswafer 4H-N SiC-substrat
Följande tabell visar specifikationerna för våra 8-tums SiC-skivor:
| Specifikationer för 8-tums N-typ SiC DSP | |||||
| Antal | Punkt | Enhet | Produktion | Forskning | Dummy |
| 1:parametrar | |||||
| 1.1 | polytyp | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ytorientering | ° | <11–20>4±0,5 | <11–20>4±0,5 | <11–20>4±0,5 |
| 2: Elektrisk parameter | |||||
| 2.1 | dopmedel | -- | n-typ kväve | n-typ kväve | n-typ kväve |
| 2.2 | resistivitet | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Mekanisk parameter | |||||
| 3.1 | diameter | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | tjocklek | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Skårans orientering | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Skårdjup | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | Långtidsvärde | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Rosett | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3,8 | Varp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3,9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Struktur | |||||
| 4.1 | mikrorörstäthet | st/cm² | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metallinnehåll | atomer/cm² | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | st/cm² | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Borderline personlighetsstörning | st/cm² | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4,5 | TED | st/cm² | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Frontkvalitet | |||||
| 5.1 | främre | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ytfinish | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | partikel | st/wafer | ≤100 (storlek ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | repa | st/wafer | ≤5, Total längd ≤200 mm | NA | NA |
| 5,5 | Kant flisor/inbuktningar/sprickor/fläckar/kontaminering | -- | Ingen | Ingen | NA |
| 5.6 | Polytypområden | -- | Ingen | Area ≤10% | Area ≤30% |
| 5.7 | frontmarkering | -- | Ingen | Ingen | Ingen |
| 6: Ryggkvalitet | |||||
| 6.1 | bakre finish | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | repa | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Bakre defekter i kanten flisor/indragningar | -- | Ingen | Ingen | NA |
| 6.4 | Ryggsträvhet | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Ryggmärkning | -- | Hack | Hack | Hack |
| 7:kant | |||||
| 7.1 | kant | -- | Avfasning | Avfasning | Avfasning |
| 8:Paket | |||||
| 8.1 | förpackning | -- | Epi-klar med vakuum förpackning | Epi-klar med vakuum förpackning | Epi-klar med vakuum förpackning |
| 8.2 | förpackning | -- | Multi-wafer kassettförpackning | Multi-wafer kassettförpackning | Multi-wafer kassettförpackning |
Detaljerat diagram
Skriv ditt meddelande här och skicka det till oss