50,8 mm/100 mm AlN-mall på NPSS/FSS AlN-mall på safir
AlN-på-safir
AlN-på-safir kan användas för att tillverka en mängd olika fotoelektriska apparater, såsom:
1. LED-chips: LED-chips är vanligtvis gjorda av aluminiumnitridfilmer och andra material. Lysdiodernas effektivitet och stabilitet kan förbättras genom att använda AlN-på-safir-wafers som substrat för LED-chips.
2. Lasrar: AlN-på-safir-skivor kan också användas som substrat för lasrar, vilka vanligtvis används inom medicin, kommunikation och materialbearbetning.
3. Solceller: Tillverkningen av solceller kräver användning av material som aluminiumnitrid. AlN-på-safir som substrat kan förbättra solcellernas effektivitet och livslängd.
4. Andra optoelektroniska komponenter: AlN-på-safir-wafers kan också användas för att tillverka fotodetektorer, optoelektroniska komponenter och andra optoelektroniska komponenter.
Sammanfattningsvis används AlN-på-safir-wafers i stor utsträckning inom det optoelektriska området på grund av deras höga värmeledningsförmåga, höga kemiska stabilitet, låga förlust och utmärkta optiska egenskaper.
50,8 mm/100 mm AlN-mall på NPSS/FSS
Punkt | Anmärkningar | |||
Beskrivning | AlN-på-NPSS-mall | AlN-på-FSS-mall | ||
Waferdiameter | 50,8 mm, 100 mm | |||
Substrat | c-plan NPSS | c-plan Planar Sapphire (FSS) | ||
Substrattjocklek | 50,8 mm, 100 mm c-plan Planar Sapphire (FSS) 100 mm: 650 um | |||
Tjockleken på AIN-epilager | 3~4 um (mål: 3,3 um) | |||
Ledningsförmåga | Isolerande | |||
Yta | Som vuxit | |||
RMS<1nm | RMS<2nm | |||
Baksida | Malet | |||
FWHM(002)XRC | < 150 bågsekunder | < 150 bågsekunder | ||
FWHM(102)XRC | < 300 bågsekunder | < 300 bågsekunder | ||
Kantuslutning | < 2 mm | < 3 mm | ||
Primär plan orientering | a-plan + 0,1° | |||
Primär plan längd | 50,8 mm: 16 +/- 1 mm 100 mm: 30 +/- 1 mm | |||
Paket | Förpackad i fraktlåda eller enskild waferbehållare |
Detaljerat diagram

