4 tum 6 tum Litium niobat enkristall film LNOI wafer
Beredningsprocessen för LNOI-material är huvudsakligen uppdelad i följande fyra steg
(1) He-joner injicerades i det X-skurna litiumniobatmaterialet vid en viss energi och infördes i det defekta skiktet på ett visst djup under ytskiktet av litiumniobat;
(2) Det jonimplanterade litiumniobatmaterialet är bundet till ett kiselsubstrat med ett oxidskikt för att bilda en bindningsstruktur;
(3) Bindningsstrukturen glödgades för att få defekterna som introducerades genom He-jonimplantation att utvecklas och aggregeras för att bilda sprickor. Slutligen separerades litiumniobatet längs det defekta skiktet för att bilda de kvarvarande litiumniobatskivorna och LNOI-skivorna.
Tillämpningar och fördelar med LNOI wafer
1--Litiumniobat piezoelektriska filmer (LNOI) har hög piezoelektrisk koefficient och dielektricitetskonstant, vilket kan omvandla mekanisk energi till elektrisk energi eller elektrisk energi till mekanisk energi. Därför används det i stor utsträckning inom området sensorer, såsom trycksensorer, accelerationssensorer, temperatursensorer och så vidare. Dessutom kan den piezoelektriska litiumniobatfilmen också användas i akustiska anordningar och vibrationsanordningar, såsom piezoelektriskt keramiskt omvandlarkomplex piezoelektriskt keramiskt filter.
2-Stabiliteten hos litiumniobat piezoelektrisk film är också en av dess fördelar. På grund av dess kristallstrukturstabilitet och kemiska tröghet kan litiumniobat piezoelektrisk film fungera i hög temperatur, hög luftfuktighet, stark syra, stark alkali och annan hård miljö, med god korrosionsbeständighet och hållbarhet.
3-litiumniobat piezoelektrisk film är ett nytt piezoelektriskt material med utmärkt prestanda och stabilitet, och har ett brett användningsperspektiv. Med den kontinuerliga utvecklingen av vetenskap och teknik kommer litiumniobat piezoelektrisk film att appliceras i fler städer, vilket ger mer bekvämlighet och innovation till människors liv