4H-N/6H-N SiC-skiva Reasearch-produktion Dummy-kvalitet Dia150 mm kiselkarbidsubstrat

Kort beskrivning:

Vi kan tillhandahålla högtemperatursupraledande tunnfilmssubstrat, magnetiska tunnfilmer och ferroelektriska tunnfilmssubstrat, halvledarkristaller, optiska kristaller, laserkristallmaterial, samtidigt som vi erbjuder orientering, kristallskärning, slipning, polering och andra bearbetningstjänster. Våra SiC-substrat kommer från Tankeblue Factory i Kina.

Skicka e-post till oss

Drag

Specifikation för kiselkarbid (SiC)-substrat med en diameter på 6 tum

Kvalitet	Noll MPD	Produktion	Forskningsgrad	Dummy-klass
Diameter	150,0 mm ± 0,25 mm
Tjocklek	4H-N	350µm ± 25µm
	4H-SI	500µm ± 25µm
Waferorientering	På axeln: <0001> ± 0,5 ° för 4H-SI Utanför axeln: 4,0° mot <1120> ± 0,5° för 4H-N
Primärlägenhet	{10-10}±5,0°
Primär plan längd	47,5 mm ± 2,5 mm
Kantuslutning	3 mm
TTV/Böjning/Varp	≤15um/≤40um/≤60um
Mikrorörstäthet	≤1 cm-2	≤5 cm-2	≤15 cm-2	≤50 cm-2
Resistivitet 4H-N 4H-SI	0,015~0,028Ω!cm
	≥1E5Ω!cm
Grovhet	Polerad Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm
#Sprickor av högintensivt ljus	Ingen		1 tillåten, ≤2 mm	Kumulativ längd ≤10 mm, enkel längd ≤2 mm
*Sexkantsplattor med högintensivt ljus	Kumulativ area ≤1%		Kumulativ area ≤ 2%	Kumulativ area ≤ 5%
*Polytypområden med högintensivt ljus	Ingen		Kumulativ area ≤ 2%	Kumulativ area ≤ 5%
*&Repor av högintensivt ljus	3 repor till 1 x waferdiameterns kumulativa längd		5 repor till 1 x waferdiameterns kumulativa längd	5 repor till 1 x waferdiameterns kumulativa längd
Kantchip	Ingen		3 tillåtna, ≤0,5 mm vardera	5 tillåtna, ≤1 mm vardera
Kontaminering av högintensivt ljus	Ingen

Försäljning och kundtjänst

Materialinköp

Materialinköpsavdelningen ansvarar för att samla in alla råvaror som behövs för att producera din produkt. Fullständig spårbarhet för alla produkter och material, inklusive kemisk och fysikalisk analys, finns alltid tillgänglig.

Kvalitet

Under och efter tillverkningen eller bearbetningen av dina produkter är kvalitetskontrollavdelningen involverad i att säkerställa att alla material och toleranser uppfyller eller överträffar dina specifikationer.

Service

Vi är stolta över att ha säljtekniker med över 5 års erfarenhet inom halvledarindustrin. De är utbildade för att svara på tekniska frågor och ge snabba offerter för dina behov.

Vi finns vid din sida när du har problem och löser det inom 10 timmar.