12-tums (300 mm) fraktlåda med frontöppning FOSB-waferlåda Kapacitet 25 st för waferhantering och frakt Automatiserad drift
Viktiga funktioner
Särdrag | Beskrivning |
Waferkapacitet | 25 platserför 300 mm wafers, vilket erbjuder en högdensitetslösning för wafertransport och lagring. |
Efterlevnad | FulltSEMI/FIMSochAMHSkompatibel, vilket säkerställer kompatibilitet med automatiserade materialhanteringssystem i halvledarfabriker. |
Automatiserade operationer | Utformad förautomatiserad hantering, vilket minskar mänsklig interaktion och minimerar risken för kontaminering. |
Manuell hanteringsalternativ | Erbjuder flexibiliteten med manuell åtkomst för situationer som kräver mänsklig ingripande eller under icke-automatiserade processer. |
Materialsammansättning | Tillverkad avultrarena material med låg gasavgivning, vilket minskar risken för partikelbildning och kontaminering. |
Waferretentionssystem | Avanceradwaferretentionssystemminimerar risken för att wafern rör sig under transport, vilket säkerställer att wafern förblir säkert på plats. |
Renlighetsdesign | Speciellt konstruerad för att minska risken för partikelgenerering och kontaminering, och bibehålla de höga standarder som krävs för halvledarproduktion. |
Hållbarhet och styrka | Byggd med höghållfasta material för att motstå transportens påfrestningar samtidigt som bärarens strukturella integritet bibehålls. |
Anpassning | Erbjudandenanpassningsalternativför olika waferstorlekar eller transportkrav, vilket gör det möjligt för kunderna att skräddarsy lådan efter sina behov. |
Detaljerade funktioner
25-platsers kapacitet för 300 mm wafers
eFOSB-waferbäraren är utformad för att rymma upp till 25 stycken 300 mm wafers, med exakt avstånd mellan varje spår för att säkerställa säker placering av wafern. Designen gör att wafern kan staplas effektivt samtidigt som kontakt mellan wafern förhindras, vilket minskar risken för repor, kontaminering eller mekaniska skador.
Automatiserad hantering
eFOSB-lådan är optimerad för användning med automatiserade materialhanteringssystem (AMHS), vilket hjälper till att effektivisera waferrörelser och öka genomströmningen vid halvledarproduktion. Genom att automatisera processen minimeras riskerna i samband med mänsklig hantering, såsom kontaminering eller skador, avsevärt. eFOSB-lådans design säkerställer att den kan hanteras automatiskt i både horisontell och vertikal orientering, vilket underlättar en smidig och pålitlig transportprocess.
Manuell hanteringsalternativ
Även om automatisering prioriteras är eFOSB-boxen även kompatibel med manuella hanteringsalternativ. Denna dubbla funktionalitet är fördelaktig i situationer där mänsklig inblandning är nödvändig, till exempel vid flyttning av wafers till områden utan automatiserade system eller i situationer som kräver extra precision eller omsorg.
Ultrarena material med låg gasavgivning
Materialet som används i eFOSB-lådan är speciellt valt för sina låga avgasningsegenskaper, vilket förhindrar utsläpp av flyktiga föreningar som potentiellt kan kontaminera wafern. Dessutom är materialen mycket resistenta mot partiklar, vilket är en avgörande faktor för att förhindra kontaminering under wafertransport, särskilt i miljöer där renlighet är av största vikt.
Förebyggande av partikelgenerering
Lådans design innehåller funktioner som är specifikt inriktade på att förhindra partikelbildning under hantering. Detta säkerställer att wafern förblir fria från kontaminering, vilket är avgörande vid halvledartillverkning där även de minsta partiklarna kan orsaka betydande defekter.
Hållbarhet och tillförlitlighet
eFOSB-lådan är tillverkad av slitstarka material som tål de fysiska påfrestningarna vid transport, vilket säkerställer att lådan behåller sin strukturella integritet över tid. Denna hållbarhet minskar behovet av frekventa byten, vilket gör den till en kostnadseffektiv lösning på lång sikt.
Anpassningsalternativ
Med förståelse för att varje halvledarproduktionslinje kan ha unika krav erbjuder eFOSB-waferbärarlådan anpassningsmöjligheter. Oavsett om det gäller att justera antalet platser, modifiera lådans storlek eller införliva specialmaterial, kan eFOSB-lådan skräddarsys för att möta specifika kundbehov.
Applikationer
De12-tums (300 mm) fraktlåda med framsidaöppning (eFOSB)är utformad för användning i en mängd olika tillämpningar inom halvledarindustrin, inklusive:
Hantering av halvledarskivor
eFOSB-lådan erbjuder ett säkert och effektivt sätt att hantera 300 mm wafers under alla produktionsstadier, från initial tillverkning till testning och förpackning. Den minimerar riskerna för kontaminering och skador, vilket är avgörande vid halvledartillverkning där precision och renlighet är avgörande.
Förvaring av wafers
I halvledartillverkningsmiljöer måste wafers lagras under strikta förhållanden för att bibehålla deras integritet. eFOSB-bäraren säkerställer säker förvaring genom att tillhandahålla en säker, ren och stabil miljö, vilket minskar risken för wafernedbrytning under lagring.
Transport
Transport av halvledarskivor mellan olika anläggningar eller inom fabriker kräver säker förpackning för att skydda de ömtåliga skivorna. eFOSB-lådan erbjuder optimalt skydd under transport, vilket säkerställer att skivorna anländer oskadade och bibehåller hög produktutbyte.
Integration med AMHS
eFOSB-lådan är idealisk för användning i moderna, automatiserade halvledarfabriker där effektiv materialhantering är avgörande. Lådans kompatibilitet med AMHS underlättar snabb förflyttning av wafers inom produktionslinjer, vilket ökar produktiviteten och minimerar hanteringsfel.
Frågor och svar om FOSB-nyckelord
F1: Vad gör eFOSB-lådan lämplig för waferhantering inom halvledartillverkning?
A1:eFOSB-lådan är specifikt utformad för halvledarskivor och ger en säker och stabil miljö för hantering, lagring och transport. Dess överensstämmelse med SEMI/FIMS- och AMHS-standarder säkerställer att den integreras sömlöst med automatiserade system. Lådans ultrarena material med låg gasavgivning och skivretentionssystem minimerar riskerna för kontaminering och säkerställer skivornas integritet genom hela processen.
F2: Hur förhindrar eFOSB-lådan kontaminering under wafertransport?
A2:eFOSB-lådan är tillverkad av material som är resistenta mot avgasning, vilket förhindrar utsläpp av flyktiga föreningar som kan kontaminera wafern. Dess design minskar också partikelgenerering, och waferhållningssystemet säkrar wafern på plats, vilket minimerar risken för mekanisk skada och kontaminering under transport.
F3: Kan eFOSB-boxen användas med både manuella och automatiserade system?
A3:Ja, eFOSB-lådan är mångsidig och kan användas i bådaautomatiserade systemoch manuella hanteringsscenarier. Den är utformad för automatiserad hantering för att minska mänskliga ingripanden, men den möjliggör även manuell åtkomst vid behov.
F4: Kan eFOSB-lådan anpassningsbar för olika waferstorlekar?
A4:Ja, eFOSB-boxen erbjuderanpassningsalternativför att tillgodose olika waferstorlekar, spårkonfigurationer eller specifika hanteringskrav, vilket säkerställer att den uppfyller de unika behoven hos olika halvledarproduktionslinjer.
F5: Hur förbättrar eFOSB-lådan effektiviteten hos waferhanteringen?
A5:eFOSB-boxen ökar effektiviteten genom att möjliggöraautomatiserade operationervilket minskar behovet av manuella ingrepp och effektiviserar wafertransporten inom halvledarfabriken. Dess design säkerställer också att wafers förblir säkra, vilket minimerar hanteringsfel och förbättrar den totala genomströmningen.
Slutsats
Den 12-tums (300 mm) frontöppnande fraktlådan (eFOSB) är en mycket pålitlig och effektiv lösning för hantering, lagring och transport av wafers inom halvledartillverkning. Med sina avancerade funktioner, överensstämmelse med branschstandarder och mångsidighet ger den halvledartillverkare ett effektivt sätt att skydda waferns integritet och optimera produktionseffektiviteten. Oavsett om det gäller automatiserad eller manuell hantering uppfyller eFOSB-lådan halvledarindustrins stränga krav och säkerställer kontamineringsfri och skadefri wafertransport i varje steg av produktionsprocessen.
Detaljerat diagram



