12 tums diameter 300x1,0 mm safirskivssubstrat C-plan SSP/DSP
Marknadssituationen för 12-tums safirsubstrat
För närvarande har safir två huvudsakliga användningsområden, den ena är substratmaterial, som huvudsakligen är LED-substratmaterial, den andra är klockurtavla, flyg, rymdfart, specialtillverkningsfönstermaterial.
Även om kiselkarbid, kisel och galliumnitrid, förutom safir, även finns tillgängliga som substrat för lysdioder, är massproduktion fortfarande inte möjlig på grund av kostnader och vissa olösta tekniska flaskhalsar. Safirsubstrat har genom den tekniska utvecklingen under senare år förbättrats och främjats avsevärt. Kostnadsfördelen är betydande, så safir har blivit det mest mogna och stabila substratmaterialet inom LED-industrin och har använts i stor utsträckning på marknaden med en marknadsandel på så hög som 90 %.
Karakteristiskt för 12-tums safirskivssubstrat
1. Safirsubstratytor har ett extremt lågt partikelantal, med färre än 50 partiklar på 0,3 mikron eller större per 2 tum i storleksintervallet 2 till 8 tum, och huvudmetallerna (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) under 2E10/cm2. Basmaterialet på 12 tum förväntas också uppnå denna kvalitet.
2. Kan användas som bärarskiva för 12-tums halvledartillverkningsprocessen (transportpallar i enheten) och som substrat för bindning.
3. Kan styra formen på konkav och konvex yta.
Material: Högrenhetskristall Al2O3, safirskiva.
LED-kvalitet, inga bubblor, sprickor, tvillingar, avstamning, ingen färg etc.
12-tums safirskivor
| Orientering | C-plan<0001> +/- 1 grad. |
| Diameter | 300,0 +/-0,25 mm |
| Tjocklek | 1,0 +/-25µm |
| Hack | Skåra eller platt |
| TTV | <50µm |
| ROSETT | <50µm |
| Kanter | Skyddande avfasning |
| Framsida – polerad 80/50 | |
| Lasermärke | Ingen |
| Förpackning | Enkel waferbärarlåda |
| Framsida Epi-klarpolerad (Ra <0,3nm) | |
| Baksida Epi-klarpolerad (Ra <0,3nm) | |
Detaljerat diagram
